60-70L / Hの流動度の酸素の植物の予備品の低温液化ガスの酸素ポンプ

60-70L / Hの流動度の酸素の植物の予備品の低温液化ガスの酸素ポンプ

1. 記述

cryopumpか「低温学ポンプ」は冷たい表面のそれらの凝縮によって引っ掛けるがで、あるガスだけで有効蒸気およびガスをです真空ポンプ。有効性はcryopumpの温度に関連してガスの凍り、沸点によって決まります。時々それらが水を保つためにbackstreamingオイルを引っ掛けるように拡散ポンプまたはMcLeodのゲージの前の特定の汚染物を、例えば妨げるのに使用されています。この機能では、彼らは物理的なメカニズムがcryopumpのためのと同じであるのに、cryotrap、waterpumpまたは冷却トラップと呼ばれます。

Cryotrappingはまた分子が実際に凍っていないでか冷たい表面の滞在時間を増加する幾分別の効果を示すことができます（過冷却）。表面で衝突し、それからはね返る分子間に遅れがあります。運動エネルギーは分子が減速するように失われてしまいます。例えば、水素は8ケルビンで凝縮しません、cryotrappedできます。これは効果的に分子を長期間にわたって引っ掛け、それによりcryopumpingのような真空の環境からちょうど取除きます。

2. 操作

Cryopumpsは圧縮されたヘリウムによって一般にそれらがまたドライ アイス、液体窒素を使用するかもしれないしまたは独立型は作り付けのcryocoolerが含まれるかもしれないけれども、冷却されます。バッフルは頻繁に冷たい頭部に凝縮のために利用できる表面積を拡大するために付しますがこれらはまたcryopumpの放射熱通風管を高めます。やがて、表面は凝縮物と結局飽和し、こうしてポンプの体積流量はゼロに次第に落ちます。それは再生するまで冷たく残るが、漏出またはbackstreamingからの新しいガスを凝縮させません限り引っ掛けられたガスを握ります。飽和は低い真空で非常にすぐに起こります、従ってcryopumpsは高いですか超高真空システムで通常しか使用されません。

cryopumpは、10⁻³のすべてのガスのきれいなポンプから10の⁻⁹トル及びます速く提供します。cryopumpは主義を作動させガスが極端に低い蒸気圧で凝縮し、握ることができること高速および効率を達成します。冷たい頭部は二段式冷たいヘッド シリンダー（真空の容器の部品）およびドライブ単位のdisplacerアセンブリから成っています。これらは60から第一段階の冷たい場所のための80Kまでまで10第2段冷たい場所のための20Kまで及ぶ温度で一緒に閉鎖周期の冷凍を、普通作り出します。

あるcryopumpsに最も冷たい内部の段階を保護していて外の段階がさまざまな低温で多数の段階が、あります。従って外の段階は水およびオイルのような高沸点ポイント ガスを凝縮させ、窒素のような低沸点ポイント ガスのための内部の段階の表面積および冷凍容量を救います。

ドライ アイス、液体窒素、そしてと冷却の温度が減ると同時に圧縮されたヘリウムを使用する、より低い分子量のガスは引っ掛けることができます。装飾の窒素、ヘリウムおよび水素は極端に低い温度（~10K）および大きい表面積を下記のように要求します。この温度で、軽いガスにヘリウムおよび水素に非常に低い装飾効率があり、超高真空システムの優勢な分子です。

Cryopumpsは頻繁に収着ポンプによって活動化した木炭またはゼオライトのような非常に吸着材料と冷たい頭部に塗ることによって結合されます。吸収剤が飽和すると同時に、収着ポンプの有効性は減りましたり、outgasへのゼオライト材料を（できれば低圧の条件の下で）熱することによってそれ再充電することができます。ゼオライト材料の多孔性の構造の故障の温度は再生のためにに熱されるかもしれないこと最高温度を限るかもしれません。

収着ポンプは低圧は仕上げポンプを使用して（達成されるが0.1 Pa （10の⁻³トル）の順序のに大気の範囲からの圧力を減らすために荒削りポンプとして頻繁に使用されるタイプのcryopumpです真空を見て下さい）。

3. 再生

cryopumpの再生は引っ掛けられたガスを蒸発させるプロセスです。再生周期の間に、cryopumpはそれにより室温にまたはより高い暖められ、ソリッド ステートから気体状態に変え、大気にcryopumpから圧力安全弁を通して解放されるように引っ掛けられたガスがします。

cryopumpを利用するほとんどの生産設備に真空槽からのcryopumpを隔離する手段があります従って再生は水蒸気のような解放されたガス--に真空システムをさらさないで起こります。水蒸気は真空槽の壁露出にから単一層の形成および水素の結合による大気への取除くべき最も堅く自然な要素です。乾燥した窒素のパージ ガスへ熱を加えることはウォーミングアップを促進し、再生の時間を減らします。

再生が完全なときcryopumpは隔離された50μTorr （50 microtorr）に大体の形になり率の上昇(ROR)は完全な再生のためにテストするために監視されます。RORが10μTorr/minを超過すればcryopumpは付加的清浄にします時間を要求します。